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三星SK海力士雙雙力推 DRAM制造進(jìn)入EUV時代

  韓國半導(dǎo)體行業(yè)正在準(zhǔn)備迎接新的飛躍,全球DRAM市場領(lǐng)頭羊三星電子和SK海力士即將開啟“EUV DRAM”時代。據(jù)韓國科技媒體ETNews報(bào)道,三星電子全新半導(dǎo)體工廠“平澤2號”(P2)已于上月開始運(yùn)營,這座當(dāng)前世界上最大的半導(dǎo)體工廠將生產(chǎn)全球首個基于EUV的移動DRAM產(chǎn)品。

  SK海力士方面,也已在加速推進(jìn)其基于1a工藝的EUV DRAM產(chǎn)品量產(chǎn)計(jì)劃。SK海力士將在其下一代DRAM的生產(chǎn)基地M16芯片廠批量生產(chǎn)EUV DRAM,目前已經(jīng)在園區(qū)內(nèi)安裝了兩臺EUV光刻機(jī)。EUV是一種波長為13.5納米的短光源,其波長大約是今天廣泛使用的ArF光源的十分之一,能夠在半導(dǎo)體晶圓上刻畫出更加精細(xì)的電路。由于簡化了半導(dǎo)體制造工藝,EUV能夠?qū)⒅圃炀?xì)電路所需的光刻工藝減少一半,并大幅提高生產(chǎn)率。隨著EUV技術(shù)運(yùn)用范圍的擴(kuò)大,相關(guān)產(chǎn)業(yè)鏈公司有望迎來機(jī)遇。

  相關(guān)EUV光刻機(jī)概念公司:

  英唐智控(行情300131,診股):擬收購的日本芯片半導(dǎo)體光刻機(jī)先鋒微電子的股份;

  蘇大維格(行情300331,診股):光刻設(shè)備主要為紫外光刻直寫設(shè)備,公司光刻機(jī)從設(shè)計(jì)、組裝以及所用軟件的開發(fā),均由本公司自主完成,主要用于柔性電子、MEMS以及半導(dǎo)體上游器件等產(chǎn)品的研發(fā)與制造。

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